二手 VARIAN 345 #9064802 待售

VARIAN 345是一种串联的电动离子植入器和显示器，旨在满足现代半导体、医疗和工业离子植入应用中最苛刻的要求。345采用最先进的技术建造,可提供高达35mA的最大光束电流,高达400 keV的光束能量,以及0.2 µs的最小光束停留时间,以实现极其精确和精确的逐个原子调制和控制。该机采用先进的光源中和设备，使光束均匀性最大化，产生更精确的离子束，同时保护光源免受溅射损伤的可能性。该系统提供了优越的源寿命，同时确保了高水平的离子植入精度。此外,该单元不需要额外的背面中和,这允许直接控制通过源的光束电流,从而消除了背面中和所需的任何调整,从而提高了精度。该机器还配备了先进的光束扫描机，能够扫描晶圆或样品的两侧，以确保离子束的精确定位和捕获。扫描工具还提供了高度精确的光束点包围圈,还提供了多种控制选项,用户可以快速调整光束形状和光束大小,以进一步定制离子植入过程。VARIAN 345还配有先进的离子束监测仪，能够在整个植入过程中检测和监测离子剂量、能量和位置的水平。监测仪可以检测到不同类型的掺杂剂，如硼、砷、喹、磷和锌，并报告准确的剂量水平以进行精确的植入控制。最后,但并非最不重要的一点是,345还具有数字监控资产,允许用户使用图形用户界面查看、分析和配置植入参数。此模型还提供了内置诊断程序,以便于进行故障排除,而易于存储的设置可以被召回,以便在以后的植入过程中使用。VARIAN 345是一款用途广泛、功能强大的离子植入器和监控器，旨在满足现代离子植入应用的严格要求。345具有先进的技术和特点，是当今市场上最可靠、最精确的离子植入系统之一。