二手 VARIAN 350D #191972 待售

VARIAN 350D离子植入器是一种最先进的植入设备，旨在产生高度精确和均匀的离子植入。它通过集成高精度双相交光束线来实现这一点，该光束对光束进行优化，以实现最大的工艺稳定性和均匀性。该系统将一个特殊的低摄动低能量散射室与宽光束接受度相结合，进一步提高了光束稳定性。VARIAN 350 D用途广泛,可为用户提供多种定制选项。它与广泛的晶圆尺寸和植入物剂量兼容。因此，它可以配置为多种植入过程，包括钝化、阳极氧化和掺杂。此外，该单元可以编程为在高能或低能下植入离子，这取决于被植入的材料。350D还配备了高级监视器。这包括许多传感器,这些传感器可以测量和优化刀具的参数,如光束电流、光束模式、能量和加速度。这允许用户确保植入过程平稳运行，并对任何异常或波动做出快速反应。此外，还可以远程访问监控资产，从而使用户能够从世界任何地方监控流程。总之，350 D是一种先进且用途广泛的离子植入器和监测器。它能够生产均匀、精确的植入物，其复杂的监控模型能够快速、高效地优化光束参数。此外，该设备可靠且易于使用，为用户提供了对植入过程的完全控制。