二手 VARIAN 350D #293595050 待售
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ID: 293595050
晶圆大小: 6"
Ion implanter
Dual end station, 6"
Freeman source
HP Gas unit
Beamline cryopump
BIC / BROOKHAVEN INSTRUMENTS CORP Digital scanner
Monitor scope, 5"
Remote operation unit
Current integrator
Vacuum gauge controller
GLASSMAN HIGH VOLTAGE INC Power supply: 180 kV
(2) Cryo-Torr 8 Cryopumps
Diffusion pump.
VARIAN 350D是一种用于制造半导体器件的离子植入器和显示器。它用于半导体晶片的离子注入和快速热处理。VARIAN 350 D具有非常广泛的功能，使其能够为所有类型的半导体器件提供最佳性能。350D配有高功率脉冲离子源和高精度控制光束电流和电压。它也有各种等离子体蚀刻和清洁室，可以用来快速清洗和蚀刻半导体晶圆。350 D还具有低能离子轰炸源，允许对半导体材料的结构进行详细探测和成像。VARIAN的成像能力350D有助于提高设备制造的整体质量。它还有一个监控系统，允许用户在植入过程中随时目视观察离子植入过程。监控系统还允许优化植入参数，如波束电压、电流和扫描速度。VARIAN 350 D能够快速热处理，意味着它可以在短短几秒钟内达到900摄氏度的温度。这使得350D非常适合需要极精确温度的制造工艺。350 D还能够多种物种植入，允许将硼和/或磷精确掺入半导体材料中。VARIAN 350D除了拥有多样化的特性和功能外，还具有先进的安全功能。它具有多级安全系统，旨在保护用户免受电击和短路。这使得VARIAN 350 D即使在实验室或工业环境中也能安全使用。350D是一种功能广泛、功能强大的离子植入器和监控器，能够为制造半导体器件提供优异的效果。它配备了广泛的特性和功能，使其成为大型和小型半导体器件制造的理想选择。
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