二手 VARIAN 350D #293600208 待售

VARIAN 350D是一种高性能的离子植入器和显示器，旨在将精确剂量的高电荷离子输送到半导体基板中。它由几个组件组成，包括离子源、束线、质谱仪、束偏转系统和控制台。VARIAN 350 D离子源是一种加热的高真空兼容源，能够输送各种能量和束电流的离子。它由频率和振幅可调的射频发生器供电，并配有电子束离子源，用于对离子通量的精细控制。光束线由聚焦磁体、加速电压源和一组静电偏转板组成。光束被聚焦磁体产生的磁场聚焦，这使得能够精细控制离子束的轨迹和能量。加速电压源提供了将离子加速到所需植入能量所需的能量。静电偏转板用于使离子束偏转并转向所需的目标基板。质谱仪用于测量和监测植入的离子。它能够精确控制离子通量和剂量速率，使所需剂量得到精确控制。它配有一个腔室和一组高阻抗探测器，用来测量离子种类及其各自的强度。350D配有由旋转偏转器和可调梁成形栅格组成的梁偏转系统。用偏转器切换梁的位置，用梁成形栅格减少梁的发散，控制梁的形状。该系统允许离子束相对于目标基板精确定位。控制台提供直观的图形用户界面，使植入参数的精确控制和监控植入过程。它还允许通过互联网远程监测和控制350 D。VARIAN 350D是一种功能强大、精密的离子植入器和监控器，能够向底物中输送高度精确剂量的高电荷离子。其组分组合允许完全控制植入过程，确保精确剂量的离子物种可以植入基质中。它是制造需要精确控制掺杂水平的设备的理想工具。