二手 VARIAN 350D #293641021 待售

VARIAN 350D是为生产半导体晶片而设计的高精度、高电流离子植入器和监控设备。该系统能够在1 keV至500 keV的广泛能量范围内植入多种类型的离子，包括硼、氧和氮。该单元设有两个独立的植入室，允许从多个晶片同时植入和数据收集。VARIAN 350 D的电子控制和监控机配备了多种节省时间的功能。光束强度控制工具对光束电流进行精确调整，以优化晶圆性能，而先进的晶圆调平设备确保均匀植入。集成缺陷检测模型可检测植入过程中的缺陷,并允许在将晶圆送入包装之前采取纠正措施。该设备的真空系统包括高效涡轮分子泵和可调涡轮真空室，可实现高水平的工艺重复性。根据所需的加工参数，可以最佳地调整预真空以及后室的压力和温度。该装置的两个高效率的10个区域crucibles可以同时植入多达10个晶圆。全自动端点检测机对腔室变量进行精确监控，确保尽可能的最佳植入过程。350D提供了高质量、高性能半导体器件所需的精度和精确度。此工具可确保高吞吐量生产,最大程度地减少停机时间,并降低总体成本。它是一种可靠、高性能的资产，非常适合用于所有类型的半导体生产作业。