二手 VARIAN 350D #293641024 待售
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VARIAN 350D是一种用于半导体晶圆加工的重型高精度离子植入器和监控器。它专为大批量生产需求而设计，植入参数广泛，工艺精度高，拥有成本低。VARIAN 350 D是具有VARIAN电子束源和新型涡轮加速器技术的单端四区双炮设备。脉冲X射线电离确保离子计数的最佳控制。该系统包括一个有精密闭环控制的46通道电弧准直仪和一个100 kV可变压力枪。植入器的光束光斑尺寸可根据需要和基板进行调整，能够创建广泛的植入物几何形状和光束轮廓。该装置设计灵活，操作方便。它的多站接口能够同时控制多个进程，从而实现高效的植入运行。该机器具有直观的警报警告和整个植入过程中过程条件和参数的实时反馈。此外，350D还配备了先进的光束能量控制工具，可自动调整所有光束能量设置的优化和精度。350 D的最大光束电流为250 mA，最大电压为75 kV，光束能量范围为0.2 keV至1.0 keV。大范围的基材可以以任何剂量速率植入，最大剂量速率为2000 neV/cm^ 2.s，最大晶圆尺寸为7英寸。该资产提供高精度、低溅射和改进的均匀性。此外,高级维护和诊断功能能够监控模型性能,并为预防性维护活动提供支持。VARIAN 350D是一种可靠、高效的离子植入器和监测器.其高精度水平和快速植入时间使其能够处理具有挑战性的底物，并实现长期成本节约和工艺改进。它的高级功能和多个可配置参数为用户提供了满足现代半导体生产需求所需的灵活性。
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