二手 VARIAN 350D #293765991 待售

VARIAN 350D是用于半导体工艺的最先进的离子植入器和监控设备。这种用途广泛的设备可用于各种应用，如掺杂、退火和离子铣削。该系统由植入器、监视器和多个计算机系统组成,用于控制设备。植入器利用能量和磁场加速离子到目标晶片，在那里它们被植入表面以实现不同的化学和电学性质。显示器用于测量离子电流并确保其在可接受的范围内。VARIAN 350 D以单端加速器设计为基础，并以铝陶瓷光学（ACO）镜头为特色，这是一款获得专利的线性分级镜头机，为可靠和可重复植入提供了优质光束点。ACO透镜有一个可调节的焦点，可以调整，以确保晶圆中特定深度的均匀植入密度。该工具还具有集成的计算机化控制资产和用户界面，可用于监控和修改植入过程。350D是一种精确可靠的植入器和监控器模型，能够为大批量生产半导体制造提供高精度和受控的工艺。它专为最高的工艺灵活性而设计,提供一系列光束点大小、电流、剂量和能级,以及多种光束类型,如单光束、双光束、多光束和组合光束。该设备还具有独特的SIMPLE编程语言和数据采集设备，允许用户存储和回忆各种工艺参数。该系统还配备了限值检查和警告系统，这有助于确保所有植入参数都在安全限值之内，并确保任何超出耐受性的条件都能迅速识别和纠正。总之,350 D是一种可靠、高效的离子植入器和监测装置.它能够将不同的掺杂剂和离子精确地植入晶片中，并具有一系列功能和工具，如可编程极限检查和简单数据采集，有助于确保所有植入过程都是精确和可重复的。该设备非常适合大批量生产应用,对任何半导体制造商都是一项宝贵的资产。