二手 VARIAN 350D #9229054 待售

VARIAN 350D是一种可靠、高性能的离子植入器和监控器，设计用于对大中区半导体晶片进行超精确的植入和监测。VARIAN 350 D具有令人印象深刻的均匀点分布和卓越的精度,是一种先进的植入系统,适用于各种应用,包括集成电路制造、薄膜沉积、内存设备制造和掺杂应用。350D具有高速电子枪、两台质量分析仪和数字信号处理功能，可实现精确的植入。电子枪能够产生高达10 keV的电子，其束电流高达15mA，质量分析仪能够根据其质量电荷比精确分离离子。利用数字信号处理算法对波束参数进行实时分析和优化，确保植入效率和精度。350 D配备了一系列硬件和软件功能,能够有效地实施离子植入过程。其中包括用于控制光束曝光时间的光束快门、用于精确编程植入时间的毫秒延迟发生器，以及用于方便监控和调整各种参数的屏幕图形界面。此外,VARIAN 350D还具有广泛的安全和安保功能,包括可锁定的安全门和先进的电流限制器,以防止过量的电流损坏。VARIAN 350 D还具有令人印象深刻的各种能源选择，有多种可选能量可供选择，最高可达8 MeV，允许植入各种掺杂剂。总体而言，350D提供卓越的性能和可靠的植入和监测解决方桉，以确保一致准确和精确的结果。它是半导体工业中各种离子注入工艺的绝佳选择。