二手 VARIAN 350D #9409512 待售

ID: 9409512
Ion implanter.
VARIAN 350D Ion Implanter and Monitor设备是由半导体设备制造商VARIAN, Inc.开发的高性能离子植入系统。这种装置旨在促进离子植入材料中以改变其物理和电学特性。它采用束提取、质量选择和能量过滤机制的组合,将离子精确注入目标材料。VARIAN 350 D是一个全自动单元,使用高度精确的数字控制技术,以确保一致的离子植入性能。它有四个基本组成部分-源、偏置、光束线和目标。离子源负责创建所需的离子束,然后由束线组件引导。偏置分量利用静电场改变离子束的轨迹,目标材料是离子正在植入的材料。350D包括先进的安全功能和诊断系统,使用户能够实时监控植入参数。该机还能够进行自我校准和性能验证,确保植入物质量始终如一的完美。此外,它还可以配备各种离子喷射器和光束监测器,以满足专门和高精度的要求。植入过程由VARIAN开发的控制软件控制,该软件允许用户在需要时监控和调整植入参数。此外,350 D能够处理各种晶圆尺寸,从0.1mm到300 mm,使其适合广泛的应用。它还可以处理各种离子种类和光束电流,直至20mA,允许用户安全地将离子植入到他们的目标材料中。VARIAN 350D可靠高效,可最大限度地减少对生产力的影响,同时提供优异的植入效果.其多种安全机制确保设备操作安全,其诊断功能为用户提供植入性能的全面反馈。其柔韧性和准确性使其成为离子注入的理想选择,其可变电源提供了广泛的光束电流,可以可靠地控制。
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