二手 VARIAN 350DE #9104473 待售

VARIAN 350DE是一种高度先进的离子植入器和显示器，设计用于制造半导体芯片中的电子电路。它能够以非常精确的水平植入离子，并具有各种不同的离子能量和剂量递送。它具有先进的静电计和监控设备，允许用户监控植入过程的整个过程。单位还设有一系列安全联锁装置，确保用户安全，防止意外接触颗粒。350DE植入器利用一系列高压电离网产生稳定的离子束。然后将该光束聚焦到具有加速电压的紧密光束中。聚焦光束随后通过一系列具有特定开口大小和形状的孔径，以确保准确植入。为确保均匀的剂量传递，每个电离栅极上的电压是可调的，以提供均匀的光束。VARIAN 350 DE的集成静电计和监控系统允许对整个植入过程进行实时监控。它提供了过程中各个时间点电压、电流、温度和光束强度的详细日志。该单元还监测植入每个晶片的颗粒数量和交付的总剂量。这允许用户微调参数设置以获得最佳性能。350DE植入器还具有一系列安全联锁装置，以保护用户。这些联锁装置在发生电涌时会关闭设备并关闭机器电源。该设备还具有一个紧急关闭开关,该开关可立即停止该设备并关闭该工具的电源。此外，该装置还配备了紧急排气设备，以在发生故障时安全地排出有害物质。VARIAN 350DE是一种高度精确、高度可靠的离子植入器和监控器。其先进的特点和安全联锁，确保了植入过程的高效、安全完成。其集成的静电计和监视器模型在整个过程中提供详细的反馈，允许用户微调设置以获得最佳性能。