二手 VARIAN 400-10 #9105618 待售
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ID: 9105618
High current ion implanters
(1) Cassette to cassette end station
(1) Research cube end station.
VARIAN 400-10是一种用于半导体制造的离子植入器和监控器。用于将原子级粒子如硼、磷、砷引入半导体材料的表面和层。这种技术称为离子注入,用于创建晶体管、二极管和其他半导体器件。400-10的基本成分包括离子源室、离子束发生器、3维扫描装置和法拉第杯。离子源室容纳要植入的目标材料,以及设置离子的能量。离子束发生器加速离子,使它们能够植入目标材料中。3维扫描设备用于确保所需区域的均匀覆盖。法拉第杯检测流经离子束的电流量,用于测量被植入离子的剂量。VARIAN 400-10允许精确控制植入过程。可以调整植入离子的能量和剂量,以匹配靶向材料的性质。3维扫描装置允许精确覆盖所需区域,确保植入离子的深度均匀。此外,还可以监视系统的操作,以检测任何潜在的错误或故障。400-10还包括几个功能,可提高安全性和可靠性。离子束被封闭在真空室中,以防止任何环境暴露。此外,该机器还配备了先进的警报系统,旨在提醒操作员注意任何潜在的危险。总体而言,VARIAN 400-10是一种可靠和先进的植入物,能够为各种半导体应用精确地将原子粒子引入目标。它对植入过程的精确控制,以及其安全特性,使其成为行业专业人士的理想选择。
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