二手 VARIAN 400-10 #9156375 待售
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VARIAN 400-10是一款功能强大的离子植入器和监控器，旨在精确地将离子植入半导体器件中。离子植入器能够将离子沉积到广泛的材料中，包括金属、氧化物、氮化物和碳化物。通过离子源、质量滤波器和光束引导设备这三个主要部件的快速调节能力，实现了对该装置的高度精确控制。400-10的离子源是一种高功率的电弧放电离子源，提供高能级和均匀的空间离子分布。它具有将离子束引导到30 nm点大小的能力。可以调节用于实现离子束的背景气体，从而可以精确控制离子注入的重复性。质量滤波器可以选择要植入的离子范围，从光束中消除不希望的离子，允许对材料成分进行微调。光束引导系统提供了一个可调节的电场，以预定角度引导离子进入材料。该单元提供了多种功能，有助于确保离子植入过程可重现和精确。这些特点包括光束能量控制、动态光束扫描控制、抗辐射材料和低噪声电源。脉冲调制光束控制有助于确保植入剂量的均匀性，以及提供对植入角度的精确控制。该机器还提供自动剂量结束感应，有助于确保准确的植入率。VARIAN 400-10还实时监控离子植入器，提供光束位置和状态的恒定视觉。这样可以监控光束的能量、轮廓和电流,以及植入物的速率和轮廓。从监视器收集的数据可用于确认植入条件的正确性，并确保材料已正确植入。总体而言，400-10是一种先进的离子植入器和监视器，为成功的半导体器件植入提供了必要的准确性、精确度和可重复性。它的特性允许精确控制光束的方向、能量和轮廓,从而为特定应用提供理想的材料组合。
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