二手 VARIAN 5394001 #9260504 待售

VARIAN 5394001是一款设计用于集成电路先进制造的高性能离子植入器和显示器。这种设备结合了先进的控件和监视器，例如20通道数字I/O控制器，使其能够实现对植入物电流、电压和能量的精确和可预测的控制。该设备还设计用于监测和测量离子植入过程中室内植入气体压力的分布。5394001集成了许多功能以优化市场性能。这包括了一系列单独的工艺组件，如无源型阴极、多盒式离子源、离子束门、扫描平台和多轴扫描仪。此外,系统可以配置为切换具有不同增强转向能力的离子种类。高精度XYZ级的运行行程为6英寸,为多位置晶圆植入提供了出色的稳定性。VARIAN 5394001的其他特性包括其自动调谐技术，有助于确保一致和可预测的植入过程结果。该单元还包括先进的诊断工具，如腔室气体分析机、腔室性能监视器和培训和操作员管理工具。5394001通过集成的软件和硬件提供一流的监控。其自动调谐技术与先进的控制平台相结合，为用户提供了出色的植入作业控制和卓越的植入效果。该资产还被设计为在温度稳定性、均匀性和可重复性方面提供卓越的性能。VARIAN 5394001是一个可靠、健壮的模型，非常适合先进的集成电路制造。这种离子植入器和显示器提供卓越的性能和精度以及卓越的监控能力.它的高级控件和监视器,以及自动调谐和诊断功能,使其能够为离子注入提供一流的性能。