二手 VARIAN 8010 #9068893 待售

VARIAN 8010是一种离子植入器和监控器，旨在提供精确剂量的用于半导体和其他高科技装置制造的高能离子。离子被注入基材，如半导体晶圆，以创建所需的导电层图样。8010是制造的重要工具，因为它提供了对注入离子剂量的精确控制。VARIAN 8010包括一个离子源和两个精密离子植入系统。离子源提供用于在底物中植入污染物的高能离子。两个植入系统包括一个加速器和一个减速器，控制离子到达基材前后的速度。加速器将离子加速到高速，而减速器则在离子到达材料之前将其减速。8010的监视器设计用于确保将正确的预定剂量输送到基材上。它使用各种传感器和探测器来测量输送的离子量。显示器还提供有关植入过程的当前状况的信息,包括电源电压、工艺电流以及对基板的暴露剂量。这些信息有助于操作员确保所提供的剂量准确和适合底物。VARIAN 8010还包括各种安全功能,旨在保护底物材料和操作员免受与离子植入相关的潜在危害。这些特点包括防辐射、过压、过温和过压。该系统还包括一些诊断工具，如警报和自动关闭，以便在植入过程变得危险之前检测与植入过程相关的潜在问题。总之，8010是一种高精度的离子植入器和监测器，旨在安全准确地输送用于各种高科技设备制造过程的高能离子。它使用离子源、植入系统和监测工具的组合，对输送到底物的离子剂量提供可靠的控制。该系统还包括多种安全功能，以确保基板和操作员的安全。