二手 VARIAN 8010 #9269115 待售

VARIAN 8010是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates制造的离子植入器和显示器，用于半导体晶圆的离子植入。8010提供了一种高精度的仪器，可以将离子植入到多种材料中，包括硅、的、的、的和砷的。VARIAN 8010设计有两个基于飞利浦的植入器（PVF-4/2和PVF-4/4）以及一个基于伺服电机的植入器（VARIAN 8100）。8100植入器能够自动控制整个植入过程，以最大限度地提高精度和精确度。8010有几个特点，使其成为离子植入的理想选择。首先是它能够採取广泛的基板，让使用者用多种材料製造装置。VARIAN 8010也有可变电流范围，允许植入更大范围的粒子能量。8010有先进的束脉冲设备，使离子加速到比静态系统更高的能量。这个脉冲系统增加了粒子的均匀性，也允许调整整个晶圆的能量分布。VARIAN 8010还有一个高度精密的监控单元，可以在整个植入过程中持续监控底物和植入的离子。本机收集剂量、电流、温度、时间、电压等参数的数据，并向用户提供植入进度的即时反馈。8010还有一个全面的界面，允许用户配置植入参数以及监控和分析产生的植入离子。VARIAN 8010允许极其精确和精确的离子植入。它能够生产光束点直径为25 μ m至250 μ m的设备,具体取决于配置。8010还有一个可选的深度监控工具，可以防止颗粒过度渗入基板。简而言之，VARIAN 8010是一种离子植入器和监控资产，提供了一种高效、精确的方式将离子植入各种各样的底物中。8010精度高,可生产光束点直径为25 μ m至250 μ m的设备。此外,VARIAN 8010还具有先进的监控模型和接口,可用于配置和监控植入物参数。所有这些特性使得8010成为离子植入的理想选择。