二手 VARIAN AAS 30 #293672532 待售

VARIAN AAS 30
ID: 293672532
Implanter.
VARIAN AAS 30是一种离子植入器和监测器,用于专门的离子植入过程。它是一种高精度、可靠的工具,设计用于处理诸如制药、医疗和航空航天/国防应用等困难的半导体技术。它具有出色的性能,包括精确的光束控制,高离子电流范围可达800mA,以及多种植入角度可达45度。这样可以确保在每一个过程中都能获得最佳的离子材料深度和分布。AAS 30使用可变磁场技术(VMF)提供其先进的离子植入能力。它具有最大30英寸的源到目标距离、定义光束的大孔径以及可微调的光束散度。旋转扫描控制也使光束漂移校正得以快速进行。此外,该机还配备了用于动态光束发射控制的快速响应热电线圈,确保了植入过程中光束特性的稳定。VARIAN AAS 30还提供了出色的端点监控功能,以进行彻底的过程控制。例如,一个集成的能量监测器,即使在近束电压下进行植入,也能连续读出室内的电子电流。此外,温度控制的热传感器为改善热环境提供了室内温度的精确测量。离子束监视器还可确保光束电流保持在安全植入物运行的指定范围内。机器还提供了一个用户友好的软件包,方便源的操作。其图形用户界面(GUI)提供清晰的提示和广泛的控制,使植入器易于操作和自定义。该软件包还提供了一个功能强大的模拟程序,使用户能够在虚拟环境中进行生产运行。综上所述,AAS 30是一种先进、可靠、高精度的离子植入器和用于高级应用的显示器。对于那些寻找可靠、准确的植入项目控制系统的人来说,这是一个极好的选择。
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