二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80 #9218042 待售

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80是一种离子植入器和监控器，作为半导体制造过程中植入和分析的全自动设备而构建。它具有先进的植入技术，以满足行业标准的性能要求，以及集成晶圆处理子系统。该单元提供了高度精确的剂量分布和均匀性。能提供高离子通量率和可靠的植入均匀性。AMAT VIISta 80配备了两个独立的离子源，这些离子源具有热发射器和辅助离子源，如D-11和E-30三极管、射频供气和X射线发射器。这些组件设计用于在各种植入条件下产生精确剂量。机器还包括一个装有多个机器人的自动晶片处理子系统和一个可移动的桥，可以用来在离子植入器和分析工具之间转移工件。自动化资产利用模式识别软件使晶片在桥上正确定位，方便多种工具的准确操作。VARIAN VIISta 80能够同时植入单晶圆和多晶圆。它还具有一个脉冲模型，可以调整为均匀或不均匀的剂量，以确保最佳的植入。该设备还包括单晶片和多晶片植入的优化程序。此外,系统还提供高级监控功能,包括光束电流、温度、动态范围和光束强度报告。此报告工具使用户能够评估植入器的光束轮廓、性能和剂量控制。APPLIED MATERIALS VIISta 80是一种在半导体制造部门植入和分析的高效可靠工具。具有先进的特点，保证了最优植入、精确的剂量分布和可靠的均匀性。此外,监控功能提供全面的分析和报告,使用户能够优化性能并保持严格的过程控制。