二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80 #9243147 待售

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80是一种先进的离子植入器和显示器，设计用于半导体制造过程。它的高级功能使用户能够精确控制离子束能量、角度和电流密度。这允许对制造过程中使用的基材进行高度精确的掺杂。AMAT VIISta 80具有四轴扫描系统,可快速、精确地将离子束对准基材。它还提供了几种不同的用户可选操作模式，包括批处理、多通道处理和自定义植入。此外,还可以定制离子束以满足应用程序的特定需求。VARIAN VIISta 80还具有一系列监测能力。它包括一个光束电流监视器、植入物电流监视器、温度和压力传感器，以及一个用于可视化植入物深度的X射线监视器。它还监控整个晶圆表面植入深度的均匀性。APPLIED MATERIALS VIISta 80的中间质量滤波器（IMF）提供了植入离子束的精确滤波。它有助于消除不需要的离子种类，如微量原子或重颗粒，确保只将所需的种类植入基质中。这有助于最大限度地减少植入物损伤，并产生高质量的掺杂水平。VIISta 80的软件允许优化工艺条件。它可用于控制各种参数，如气体压力和电压，用于优化基板。它也可用于创建和存储最佳加工条件的配方。此外,VIISta软件界面可以轻松生成详细的系统性能报告。简而言之，VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80是针对半导体制造工艺优化的先进离子植入器和监测器。其四轴扫描功能、用户可选择的操作模式、监控功能、中间质量滤波器以及优化的软件，使其成为制造过程中使用的基材精密掺杂的强大工具。