二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80 #9260239 待售

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80是一种高性能的离子植入器和监视器。它旨在为植入提供最高精度和精确度，这是半导体制造中必不可少的一步。AMAT VIISta 80具有多种功能,包括高精度离子源定位、最大20厘米的源到样本距离范围、多种离子植入能量、集成的等离子体源、先进的冷却和再造系统以及现场过程监控包。VARIAN VIISta 80构建在一个先进的工业自动化平台上,该平台可实现高效的操作,并具有广泛的前沿功能。离子源定位系统允许离子源相对于样品进行高精度定位，使植入材料具有典型的均匀性。源到样本的距离范围高达20厘米，为用户选择离子植入提供了前所未有的灵活性。此外，该机器还提供各种离子植入能量，允许使用更广泛的材料和应用进行操作。VIISta 80包含一个集成的射频等离子体源，能够产生高达5,000 K的温度，大大提高了向样品提供离子的速度和精度。该机装有两级反应堆工艺冷却再造系统，确保运行一致，提供高效能源利用。此外，先进的原位监控包确保植入过程的持续性能和反馈，使人们能够从技术上洞察植入器的操作，促进更高的植入质量和提高生产率。总体而言，应用材料VIISta 80是实现高精度离子植入的理想机器，具有无与伦比的精度和效率。其先进的自动化平台、广泛的离子植入能量、集成的等离子体源以及两级反应堆工艺冷却再造系统，使其成为半导体制造商的最佳选择。此外，它的原位过程监测包提供了关于植入过程的实时反馈，允许特殊的控制和质量保证。