二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #293630184 待售

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALSVIISta 80HP离子植入器和监控器是一种先进的设备，用于精确控制掺杂剂和其他离子植入过程。它是一种既能提供高功率又能提供高精度的紧凑设备。该系统由高压电源、离子源、光束分析和控制单元、温度控制机、屏蔽和离子束监视器组成。电源的最大电压为1,000 kV,可提供高达80kW的植入物电源。它还具有高频预偏置能力，可提高植入区域的均匀性。电源还包括自动诊断功能,可用于检测过程中的任何不规则性。离子源提供了一个受控的高度局部化的等离子体，可以用来产生光束电流密度高达25mA/cm2。光束分析和控制工具采用了复杂的粒子光学器件，以确保只植入所需的粒子。温度控制资产能够保持植入过程的最佳温度条件。它还包括一个热像仪模型，能够监测植入过程中的源温度。屏蔽设备由先进材料和屏蔽设计组成，可提供出色的防辐射防护，并确保只有无害水平的残留辐射才能到达互锁系统。离子束监视器连续测量光束参数，包括电流、能量和位置，提供反馈来调整光束，以减少植入物中任何不希望的不均匀性。总体而言，AMAT VIISta 80HP离子植入器和监控器是一种高性能装置，能够精确控制离子植入过程。它是一种用于半导体制造中植入步骤的可靠、通用的装置，提供了广泛的光束电流和功率设置，以及一套全面的安全特性。