二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292217 待售
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ID: 9292217
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
IHC Source removed
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4
E11116782 / Gas5
Beam-line module:
90° Magnet assembly
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens: Lens assembly and ES Decel
Process chamber module:
Angle cup: E11127951
Roplat kit
(2) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1500 Turbo pump controllers
PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pump
(3) CTI-CRYOGENICS OBIS-250F Pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Turbo pumps
(2) EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pumps
EDWARD IGX100M Rough pump
Main PD assembly, P/N: E17352070
Remote PD, P/N: E19012371
Missing parts:
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Beam gate assembly, P/N: E11084150
Supply interface PCB, P/N: E15003820
Orient assembly, P/N: E11320430
PMC A3 Board, P/N: E11559950
Left PRI Robot, P/N: E40001450
ESC, P/N: E11368067
Bipolar switch box, P/N: E11335731
QUAD2 Lens assembly, P/N: E11320190
QUAD2 Power supply, P/N: E19297910
D2 Power supply, P/N: E11326011
Source isolation controller, P/N: E11106222
K2 Relay, P/N: E65000649
(3) ADIO, P/N: E11292270
PFG Controller, P/N: E11092090
V17 Valve, P/N: E32000150
Scan motor assembly, P/N: E11061452
L/P Clamp assembly
ARC Power supply CABLE, P/N: E16135690
IG2 Gauge, P/N: 354019-TD-T
(2) IG3 Gauges, P/N: 354019-TD-T
G2 Gauge, P/N: E33000206
G3 Gauge, P/N: E33000206
G10 Gauge, P/N: E33000206.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80HP Ion Implanter and Monitor是一种高精度仪器，广泛应用于半导体制造业。它是一种重型工具，能够执行高精度的离子植入和精确的沉积监测。AMAT VIISta 80HP使用三个不同的光束源将离子植入各种半导体材料中。这些包括硼、磷、砷、浓铵。监视器由一个X射线探测器组成，用来测量植入过程产生的X射线强度。通过三个不同来源的组合，可以实现离子注入的精确模式，从而优化半导体器件的性能。除了离子植入，VARIAN VIISTA 80 HP还提供准确的沉积监测。沉积过程中，使用X射线探测器测量沉积层的厚度。这确保了为实现半导体器件的最佳性能而实现层的预定厚度。当涉及到控制和准确性时,APPLIED MATERIALS VIISta 80HP旨在提供最高级别的控制。它装有各种计算机系统，能够提供高精度和精确度。计算机系统与图形用户界面集成，用户操作简单易行。此外，该系统利用先进的监控系统，使用户能够方便地检测植入过程中可能发生的任何问题。总体而言,VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 HP是一款高性能离子植入器和显示器。它具有执行精确离子植入和准确监测沉积过程的能力。此外，其用户友好的图形界面和高度精确的监控系统使其成为半导体行业的理想工具。
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