二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292218 待售
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ID: 9292218
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4
E11116782 / Gas5
Beamline module:
90° Magnet assembly
Beamgate assembly
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens: Lens assembly and ES Decel
Process chamber module: Roplat kit
(4) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
EDWARD SCU-1600 Turbo pump controller
EDWARD SCU-1500 Turbo pump controller
(2) PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pumps
(3) CTI-CRYOGENICS OBIS-250F Pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Turbo pumps
EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pump
EDWARD IGX100M Rough pump
Main PD assy: Circuit breaker kit
CVCF PD, P/N: E19009490
Remote rack
Missing parts:
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Angle cup assy, P/N: E11127951
Setup cup PCB, P/N: E11084150
TMC A2 Board, P/N: E11559860
TMC A4 Board, P/N: E12013370
QUAD2 Lens assembly, P/N: E11320190
ESC, P/N: E11368067
Source isolation controller, P/N: E11106222
Twist motor, P/N: E11130962
Loadlock vent pressure regulator, P/N: E33000355
LP2 ST32 Board P/N: 013501-167-27
Buffer robot controller fuse.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80HP是一种用于生产半导体芯片的离子植入器和监控器。该装置用于将离子植入晶片表面，改变其电性能。AMAT VIISta 80HP是一种高端植入器，能够在各种材料和条件下准确、一致地植入离子。该设备具有多种性能功能。它能够与其他离子一起植入硼、磷、砷、移植物，并且可以在高达100公斤电子vetts的能量下运行。它还具有+-1%的均匀性，0.1%的准确度下降到0.01%，对于较大的植入物区域的分辨率比1 nm好。该设备的吞吐量高达每小时8个晶圆，这意味着它可以每秒植入800万个离子。此外，VARIAN VIISTA 80 HP拥有全面的监控系统。它配备了一个实时能量读出装置，使电压和电流斜坡能够根据需要进行监测和调整。它还具有实时动态范围调整，确保植入的离子保持在所需的范围内。VIISta 80HP的性能和监控也可以根据具体应用进行调整。三重滤波器管理系统旨在优化性能和最大限度地减少缺陷，同时保持所需的植入物剂量。它结合了三个集成通道，对多个参数进行精确控制。VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 HP也被设计为减少废物和排放，因为它对水和废气的要求很低。该设备能够进行自我监控和自我校正操作,并且可以通过单个插头和电源插座进行操作。这使得它成为生产线的节能选择。总体而言,VARIAN VIISta 80HP是一种强大可靠的离子植入装置.该装置操作精密一致，能效高，是生产线应用的绝佳选择。凭借其全面的监控系统，AMAT VIISTA 80 HP可以确保植入物准确一致地进行。
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