二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292219 待售
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ID: 9292219
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
IHC Source head
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1 (Removed)
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4 (Removed)
E11116782 / Gas5
Beamline module:
90° Magnet assembly
Beamgate assembly, P/N: E11084141
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens assembly and ES decel
Process chamber module:
Angle cup, P/N: E11127951
Roplat kit
BROOKS AUTOMATION 354019-TD-T Vacuum gauge
(3) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1500 Turbo pump controllers
(2) PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pumps
(3) GENESIS ICP 320 LQ Pumps
(2) GENESIS HC80 Cryo pumps
(2) EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pumps
EDWARD IGX100N Rough pump
Main PD assy: Circuit breaker kit
Remote PD CVCF assy
Remote rack
Missing parts:
Controller mass flow, 0-3 SCCM, PH3, 4RA P/N: E23000350
Controller mass flow, N2 calibration 5 SCCM P/N: E23000101
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Advanced platen, P/N: E11368067
Dual PFG power supply controller assembly, P/N: E11092090
Quad lens, P/N: E11289020.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80HP是为研究和制造用途而设计的高性能计算机控制离子植入器和显示器。它是包括半导体离子植入在内的多种加工应用的可靠设备。AMAT VIISta 80HP模型可以处理所有标准植入任务。它用途广泛，可以平面或垂直或圆顶凋刻。它可以处理不同形状和大小的粒子，并具有很高的精度。凭借其高分辨率显示，离子束可以被精确编程、跟踪和监控。VARIAN VIISTA 80 HP具有强大的光束控制系统,用户友好,用户可以轻松编程。利用三种光束操作方式，可以根据加工应用的具体需要量身定制光束。光束可以偏转、聚焦，可以根据需要调整光束功率。该单元的高精度光束监测和控制机器，包括一个光束关闭装置（BTO），确保目标粒子的准确甚至植入。VARIAN VIISta 80HP还采用了闭环计算机控制的抽水工具，允许高真空条件进行有效但清洁的植入。温度控制装置保证了植入室内温度的一致，以达到最佳性能。VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 HP提供清洁、精确的离子植入,具有极高的精确度和控制力。其有源区域监测器提供了光束位置和强度的实时信息。它还提供有关晶片表面轮廓的精确信息,以及其集成的表面轮廓监视器。此外,其他功能还包括用户友好的图形用户界面、可编程配方以及数据保存和检索。VIISTA 80 HP是基于植入处理的可靠而强大的模型。它具有用户友好的图形界面和增强的光束操作，提供了极大的控制和精度。它具有许多特点，非常适合研究和生产应用。
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