二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 810 #9223170 待售
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ID: 9223170
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
High energy ion implanters, 12"
(4) Cassettes / (4) FOUP Positions
ASYST 300 OHT Transport, 12"
All Cables included
GEM / SECS Interface
Mid current classic: 810
Bernas source
Dual vaporizer
(7) Programmable tilt angles
Tilter head revision: Type C
EDWARDS iQDP80 Dry pump
EDWARDS iQDP80/500 Dry pump
Dose range: 1e^11 ~ 1e^13
Turbo's:
Dimmer magnet
Source
End station
Cryo's:
(3) Process chambers
Scan chamber
Process gasses:
Gas 1: HP
Gas 2: SDS
Gas 3: SDS
Gas 4: SDS
Does not include:
Chiller
Dry pumps
Cryo compressors
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 270 kV
2001 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 810是一款高级离子植入器和显示器,专门设计用于提高性能和精确控制,以满足广泛的处理需求。该设备集成了高分辨率、高性能的电子倍增器，能够实时测量植入物能量，确保每个植入物过程的均匀性和准确性。AMAT VIISta 810还利用了获得专利的端站控制系统（ESCS）。这允许在任何过程中精确和一致地控制植入物和监控参数，确保只使用预设参数。此外，VARIAN VIISta 810提供了一个监测植入过程的集成单元。内置诊断机器允许操作员持续监控植入过程，并根据需要进行所需的调整。这种监测工具允许校准阳极电流和植入能量。APPLIED MATERIALS VIISta 810的磁滞监测仪也可以更好地控制样品环境。这个自动化的资产在植入点的步骤监控植入物的能量和剂量，以便任何与预设参数的显着偏差都可以快速响应。VIISta 810还提供了多种可访问性选项。使用可选的远程控制台,用户可以从不同的位置监视和控制植入过程。此外,还有一个用于在线连接的以太网端口,因此多个用户可以从不同的计算机监控植入过程。该车型还带有内置的安全特性。安全联锁可检测电流过载和不安全电压,防止危险操作。此外，VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 810符合所有最新标准，以确保房地的高度安全。最后，AMAT VIISta 810是一种先进的离子植入器和显示器，专门为提高性能和精确控制而设计。直观的控制和内置的安全功能使其成为满足各种处理需求的理想选择。
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