二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta HC #293646025 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 293646025
Ion implanter
Process chamber
COMP II ESC
Roplat tilter assembly
UES2 Process end station
Dual load locks:
25 Wafer capacity
Polished integrated loadlock
Self aligning atmospheric door
4-Wafer walk out sensors in pass through cassette
Through-beam wafer mapping sensor
BROOKS AUTOMATION DBM- 2076V2 Buffer robot with track movement
ESC Controller:
P/N: E19283790
MFC / Pressure unit: Argon, BF3, AsH3, PH3
Drive mechanism:
E11320430 Orientor Assembly
VAC-407 IN VAC Arms
Foups/Load ports: 4-FOUP Complies
Module:
Gas module 1: Argon
Gas module 2: BF3
Gas module 3: AsH3
Gas module 4: PH3
Exhaust / Pump system:
BOC EDWARDS STP-A Source turbo pump
BOC EDWARDS STP-A Beam line turbo pump
EBARA A10S Source rough pump
EBARA A10S End station rough pump
BROOKS OBIS320FE Cryo pump
TC750 Load-Lock Turbo pump
Power supply: 3 Phase, 208 VAC.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta HC是一种离子植入器和监控器，旨在为半导体器件制造提供出色的工艺控制和高生产率。设备的高级功能位于单个腔室内,并由用户友好界面控制。系统的离子植入器部分由一个大的、圆柱形的高能加速器组成，具有可调的开口角度，可以设置到不同值的范围内，以调整离子的角扩散。这允许各种植入选择性选择，如大角度和广域植入物。该单元还具有高精度、10轴馈线，可以以微米级精度定位，允许精确控制离子束的位置、大小和形状。该机的监控部分采用多检测器设置，可以测量植入器束电流和能量、通量密度、大角度散射和角度扩展等一系列参数。这允许对植入过程进行连续质量控制，并将设备故障的风险降至最低。该工具还配备了紧急停止和屏蔽保护等几个安全功能，以防止在操作资产时受到高能辐射，最大限度地降低受伤风险。它还包含一个复杂的光学和电气诊断模型，以监测离子束的性能并确保最佳性能。此外，AMAT VIISta HC旨在方便地集成到现有生产线中，并提供与外围部件（如等离子体或蚀刻系统）连接的选项。这提供了极大的灵活性，保证了整个生产线的可靠运行。总体而言，VARIAN VIISta HC是一款功能强大、可靠的植入器和显示器，能够在半导体器件制造中提供出色的工艺控制和高产。
还没有评论