二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta HC #293766493 待售

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta HC是一种高精度、高容量的离子植入器和监控器，旨在以高剂量率管理高剂量离子。离子束能量被加速到35 MeV。该机器配备了广泛的技术、功能和选项，使用户能够在大面积上精确地植入离子，并以精确控制的剂量进行多年集成电路制造。设备配置性强，可编程以各种方式进行有针对性的离子植入。它具有多级可变能量加速度系统，具有多种能量设置，可精确控制离子束能量。该设备还具有数字扫描控制器，具有自动扫描功能，可用于模拟和验证所需的植入形状。多管控制机为高剂量均匀性，对彷真参数进行精确控制，对离子束进行精确对准。AMAT VIISta HC还具有高容量、多级气体净化工具，最大限度地减少溅射，最大限度地提高离子注入效率。这一资产确保了对离子束组成的显着控制，并有助于保持恒定的离子种类组成。VARIAN VIISta HC还配备了安全功能，以保护操作员在使用过程中免受离子束的伤害。安全特性包括植入过程中覆盖光束路径的安全百叶窗、减少杂散辐射的力场以及紧急关机模型。VIISta HC可以监测所有离子注入参数，包括剂量、束电流、阳极电流、束宽度、气体压力和气体成分。监测设备向操作员实时反馈目标植入物的组成及其对基质的影响。这些信息可用于验证和优化离子植入过程。APPLIED MATERIALS VIISta HC还配备了多种阻尼机构，以尽量减少离子束加速度可能引起的机械振动。该机专为长期运行而设计，可轻松操作数年。总体而言，VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta HC是一种先进的离子植入器和显示器，旨在提供高精度、高容量的植入。通过结合高容量、多阶段气体净化、精确数字扫描、安全快门等特性，再加上监控、阻尼等特点，这台机器在高剂量时提供了出色的植入参数和均匀性。其全面的安全特性也使其成为操作员更安全的工具。AMAT VIISta HC是高端集成电路制造的理想选择。