二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta PLAD #9359237 待售

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ID: 9359237
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
Ultra high dose plasma implanter, 12" 2008 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta PLAD是一种先进的离子植入器和显示器,用于半导体制造。它是一种用于控制半导体材料掺杂的工具,通过在非常高的精度水平上创建电荷模式。AMAT VIISta PLAD实现采用了多种半导体材料,并用一定剂量的离子植入它们,以创建预先确定的电通道模式,然后产生晶体管或二极管等器件。VARIAN VIISta PLAD可以使用的离子的轮廓包括但不限于硼、氮、砷、磷和硅,它们在各种不同的应用中都是有用的。APPLIED MATERIALS VIISta PLAD有多个离子植入器工具和监视器,这些工具和监视器都设计用于提高设备层的一致性、降低成本和维护设备性能。VIISta PLAD的主要工具之一是能量和角度控制设备(EACS)。EACS允许精确选择离子能量和角分布,这对于广泛的掺杂水平是必不可少的。它还能够调节加速度能量、剂量率和光束光斑大小。VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta PLAD的另一个主要工具是利用所有光束扫描角度的光束扫描系统(BSS)。该单元还允许高精度操作和模式,以实现各种剂量在大面积。AMAT VIISta PLAD还配备了多种附加技术工具,如气体缓释机、不同气体类型的喷射器接口、离子源对准工具、静电卡盘以及多种离子源。这些工具协同工作,有助于随时间推移保持稳定运行,并确保兴奋剂处理的准确性和可靠性。总体而言,来自AMAT的VARIAN VIISta PLAD是一种高度先进和先进的离子植入器和监控资产。它可以精确精确地控制半导体材料的掺杂,创造出特定的电荷模式,同时将成本和工艺时间保持在较低水平。
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