二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta #9292131 待售
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ID: 9292131
High current implanter
IAN Computer, P/N: E11451450
Hard Disk Drive (HDD)
NCS Computer, P/N: E19012602
(4) FIXLOAD 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM2706-V2 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC407 PRI Robots, P/N: E11451450
Source module:
Gas box, P/N: E11323800
Source head: IHC Source assy, 12"
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11116782 / Gas5
E11336371 / Gas6
Beamline module:
90° Module: VIISTAHC I
Beam gate assy: 90° Solenoid control assy
Decel lens assy
70° Module
D2 Lens and HCP
Process chamber module:
Angle cup: Sampling cup faraday
Roplat assy
ESC Platen
(3) GRANVILLE PHILLIPS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1500 Turbo pump controllers
PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pump
(2) CTI-CRYOGENICS IS1000 Cryo pumps
(3) ZEUS OBIS-320FE Pumps
Main PD assy, P/N: E17352070
Remote PD, P/N: E19012371
Missing parts:
EDWARDS IXL100N
EDWARDS iGX600M
EDWARDS iGX100MTi
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta是一种先进的离子植入器和监控器，旨在为半导体器件制造提供高精度的离子束传递。它能够提供广泛的光束能量，因而具有多种离子种类，同时控制光束强度和放置的精确度非常高。该单元由几个模块组成，包括离子束加速和束形成组件、束扫描设备、端站。加速系统采用轴向场磁共振设计进行离子束能量控制.这种设计能够产生高达500keV的离子束.该单元的电源还包括用于精确光束能量调节的快速脉冲检测和控制电路。此外，机器还包括几个光束质量监视器，以确保光束适合应用。离子束扫描工具基于一种先进的、快速转向的资产，产生类似Lissajous的图样，将光束精确引导进入晶圆。该型号包括一台电脑控制的高速设备，每秒最多可产生256个面积，分辨率高达0.02微米。离子束转向器还能够产生非常小的圆形图样靶标，以便进行高级控制。端站是一个全自动晶圆处理单元，带有集成的过程监视器。这个单元包括几个传感器来跟踪晶圆和离子束的位置和方向，并监控植入过程。它还利用板载软件进行设备跟踪和分析。此外，该单元还包括一个适用于不同基材类型的通用晶片夹紧系统和一个可调节的腔室，用于操纵植入深度。最后，该单元包括一个用于集成到计算机网络中的双向通信接口。综上所述，AMAT VIISta是一种先进的离子植入器和监测器，能够提供精确的光束能量和精确的控制光束放置，精确度非常高。它的许多组件，从离子束加速单元和光束扫描控制到端站及其集成的过程监测算法，使其成为任何半导体器件制造需求的理想选择。
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