二手 VARIAN CF 3000 #9242115 待售

VARIAN CF 3000 Ion Implanter&Monitor是由VARIAN, Inc.开发的一种具有革命性意义的离子植入和监控系统。它是世界上最先进的离子植入器，能够在紧凑的设计中提供最大的灵活性、可靠性和性能。它是一种多源、多目标的设备，设计成本效益高，参数易于快速调节。该装置配有独特的离子源，用于独立控制专门的离子植入参数。该光源的光束电流范围为1-10mA，光束能量范围为0-7,000 eV，可以精确控制每个植入过程。其光束电流密度可达600A/cm ²，使其能够进行广泛的植入过程。该源设计用于在较短的停留时间内提供更高电流的植入过程,以便在具有关键参数的应用程序中获得更高的精度。VARIAN CF3000配有现代化的显示器设计，随着植入过程的发展，可以快速准确地测量基板参数。该监视器能够测量植入物的深度、底物温度、离子束电流和能量、底物尺寸等参数。显示器的占地面积很小,深度范围也很大,可以安装在小型真空室中,从而节省了实验室的宝贵空间。该系统配有一个主动平台，设计用于晶圆在6轴中的超平滑运动，包括水平、垂直、旋转和倾斜运动。这是由一个用户友好和直观的软件界面控制的，该界面可以方便地操纵晶圆基板。它还具有高精度温度控制和主动冷却系统，以确保一致和精确的结果。CF-3000还采用了集成电源的紧凑设计,有助于节省宝贵的实验室空间并降低运营成本。该设备经过多年的可靠使用,可实现无维护,其延长的生命周期可确保准确性和长期工作效率。CF3000非常适合需要精确控制植入参数的实验室环境,例如在半导体制造和研发领域。这是一个理想的设备，对于那些寻找一个经济高效和多用途的植入器具有最大精度和控制。