二手 VARIAN CF5 #9210374 待售

VARIAN CF5是由VARIAN集团旗下的VARIAN Semiconductor Equipment建造的离子植入器和显示器。VARIAN CF-5提供了一系列工具和功能来支持高级离子植入处理。CF5具有高能、高束电流和高精度的离子注入电子冲击源。它配备了高性能控制器，强大的面向能量的窗口植入物操作环境，以及设计用于处理多种材料的坚固光束线。此外，CF5还提供了先进的过程控制功能，使用户能够达到处理各种植入需求的结果。CF-5具有60-150KV植入物能量和1-500uA光束电流的能力，以及广泛的光源光束调节能力，以创造最佳质量的植入物。此外，VARIAN CF 5还提供高度精确的剂量控制能力，压力在0.001-1 mTorr之间。VARIAN CF5配合先进的高精度压力剂量校准系统，能够产生高度一致的植入物批次。此外，VARIAN CF-5的均匀性模式设计为提供均匀的剂量和能量分布，同时保持均匀的剂量、能量和光束强度。该模块还可以实现极其精确的定位和对准参数，以便对植入进行严格的控制。CF5先进的离子监测器设计为对喷嘴尺寸、喷嘴与样品距离、注入能量等工艺参数进行实时监控，同时不断调整以达到最佳效果。显示器配有直观的图形界面、全面的系统日志记录功能和可追踪的数据，以确保尽可能最精确的监控。综上所述，CF5是一种先进的高质量离子植入器和显示器，旨在为用户提供离子植入过程的各种选择，以及高度精确的剂量控制能力，加上精密、高精度的压力-剂量校准。此外,CF-5还具有用于实时过程监控的高级离子监视器,以及可跟踪的数据系统,以确保获得最精确的结果。