二手 VARIAN DF5394-1 #9260507 待售

VARIAN DF5394-1是一种先进的离子植入器和监控器，专门设计用于提供可靠、高性能的多个离子植入晶圆基板。DF5394-1是一种多束中电流离子植入器，具有一系列组件，以确保在各种应用设置中最佳的植入过程。VARIAN DF5394-1配备了先进的质量流控制器（MFC）,可精确控制过程限制阴离子和阳离子,还配备了Peak Lock Control （PLC）系统,可确保可靠的并行性和均匀性。这两种系统都能在植入过程中实现高精度，减少排放并提高性能。植入器的植入源为单阴极、低能二极管设计。该系统允许植入器以一定范围的能量运行，从低到高水平。在阳极极限为900V的情况下，植入器可以在广泛的植入材料上实现高性能，包括硅、硼、氟等种类。二极管设计还确保植入器的快速响应时间，有助于减少完成植入过程所需的时间。DF5394-1具有专门的监视器，在植入过程中易于监测。这款显示器提供了同时监控多个离子的能力，使用户可以轻松观察植入过程的每个步骤。这提供了更好的控制，以及在必要时更容易调整植入过程。监视器还包括一个自动剂量调整系统，提供对植入过程的精确控制，同时不需要手动调整。VARIAN DF5394-1提供了可靠的性能设计,适合光学、高精度和高效的植入操作。它的高级组件确保在整个过程中易于操作和提高准确性,而监视器则能够对植入过程进行连续监控和详细控制。低能源允许各种可植入物种和能量水平，使DF5394-1成为一个可靠和多用途的植入器多种应用设置。