二手 VARIAN Disk for 160XP #9412732 待售

VARIAN Disk for 160XP是一种高性能的离子植入器和监控设备。它旨在提供离子精确的注入基板，如半导体晶圆。该系统能够与光束电流一起精确控制和测量离子能量、离子剂量和光束轮廓，从而实现材料的最佳处理。160XP磁盘还配备了精密的内部控制和监控软件，可以进行精确的过程控制和分析。VARIAN Disk for 160XP单元由两个主要组件组成；磁盘和160XP离子源。磁盘是一个真空绝缘的非磁室，它容纳了机器的离子束传递和监测组件。160XP离子源是一种电子束控制的源，专为在高电流密度下植入具有精确能量控制的离子而设计。可靠性高，维护成本低。用于160XP的磁盘通过多种方式对离子束进行精确控制。它能够控制和调节被植入离子的能量及其到达时间。VARIAN Disk for 160XP的能量范围可以在200 keV时达到峰值，是加工各种晶圆材料的理想选择。此外,磁盘还可以精确定位和扫描离子束,从而在晶圆上产生所需的植入物轮廓。160XP离子源能够产生比其他源更高的电流密度，从而实现更快的植入覆盖。这导致植入基材时生产力提高。离子源还旨在最大限度地减少背景中性颗粒，降低污染速率，使离子更清洁地沉积。160XP磁盘是一种强大的离子植入器和监控工具，旨在提供对离子束的精确控制。其精密的内部控制和监控软件可实现精确的过程控制和分析。VARIAN Disk for 160XP是植入各种电流密度较高的晶圆材料的理想工具,从而提高了生产率。