二手 VARIAN E1000 #158481 待售

VARIAN E1000是一种先进的离子植入器和离子监测器.由离子植入系统制造商VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.开发。VARIAN E-1000利用高精度单轴电机控制器和冷老化电机主轴驱动植入功率和精度。电机控制器和电机主轴的结合提供了剂量速率和峰值电压的连续控制。E 1000利用先进的诊断传感器来确保峰值电压精度,并检测任何潜在的电弧或其他电气错误。这种错误会对离子注入过程中使用的晶片或薄膜造成重大损害。传感器还监控加速器和范围锁的电荷传递。这允许最大限度地利用加速器。此外，E-1000利用精确的运动中称重反馈回路进行光束对准，从而实现精确的植入。E1000还具有五极离子源。该源产生高强度负离子束，具有很强的稳定性和重复性。这保证了离子的均匀植入。还包括一个超精细光束选择器，以保护晶片不被过多的离子轰击。VARIAN E 1000可靠性高，效率高，生产率高，每次拍摄成本低，应用多功能性。离子植入器可以配置为处理不同类型的基板，自动化设备可以修改以容纳不同层的薄膜或基板。此外，与传统的单阶段应用相比，它在应用方面的灵活性可以显着节省时间和金钱。VARIAN E1000还具有先进的控制系统。这一单元包括一台工作站计算机和集成软件，便于定制，以及实时监控和控制。用户友好的界面允许方便的操作，而集成软件则允许方便的数据采集。总体而言,VARIAN E-1000是一种先进可靠的离子植入器和离子监测器.其精密开发的硬件和软件为离子注入提供了可靠高效的解决方桉。集成控制机使操作简单高效，允许平稳一致的操作。