二手 VARIAN E1000 #200760 待售

VARIAN E1000是一种设计用于半导体工业的高精度离子植入器和显示器。它将光束线、离子源、光束诊断仪器和高分辨率光束扫描设备结合到一台紧凑的机器中，并提供端到端的过程控制。植入器使用垂直安装的离子源产生离子束，然后通过串联光束传输系统将加速的离子指向目标晶片。利用场发射离子源、射频电源、质谱、高分辨率光束扫描、先进光束监测仪表，优化了离子性能。VARIAN E-1000具有两级植入器和0.5至50 keV的高分辨率光束。该装置能够植入各种高电流至最大200mA的离子，并配备先进的光束诊断仪器和光束转向技术。它还设计为在高通量下进行单晶片处理，具有电流均匀性和良好的植入物角度和剂量控制。E 1000具有内置的平板显示器和直观的用户界面,可轻松访问机器配置的各个方面。此外，还提供了先进的信号处理算法，例如用于光束斑点大小检测和电流补偿的算法，以确保准确和精确的植入性能。为了在操作过程中提供额外的保护,E-1000配备了安全互锁工具、光束停止和过电流保护。VARIAN E 1000因其先进的光束诊断仪器、用户友好的界面和安全特性，是半导体器件处理的理想选择。该机的高精度离子植入器和监测器可用于广泛的离子植入应用，使其成为各种半导体制造工艺的理想解决方桉。