二手 VARIAN E1000 #44234 待售

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ID: 44234
Spare parts - many available Suppression power supply: E11006900 Interface: 101927001 Cryo control: 112627001 Cryo pump: CT250F JAR motor: 112612001 (3) Motor of road lock R4 scan motor: 11364002 R1 vacuum feed thru: 112610001 R6 vacuum feed thru: 112614001 Disk motor (2) Wafter lift assembly, 8" hook type Acceleration tube (needs cleaning) Beam gate-gate valve: VAT 17/93 (3)Main chamber cryogate valve: VAT 33/93 Manipulator Varian plasma and bias supply (needs repair).
VARIAN E1000是一种离子植入器和监控器,可用于修饰和重新定位半导体和固态器件中的掺杂离子。它是一种完整的离子植入设备,提供可靠、可重复和经济高效的各种离子植入,以改变半导体器件的电气特性。VARIAN E-1000凭借其先进的技术和严格的工艺控制,以高质量的效果实现了高精度植入。该系统利用大束能量范围,在控制植入深度和剂量方面提供了灵活性。它能够在短短几秒钟内植入高达100微米的深度。该装置还配备了极其精确的光束监视器,可实时测量植入参数,确保一般过程的准确性和可重复性。E 1000包括可靠的热场发射枪,提供适当控制的热丝和可调节的发射电流,以产生低发射率的离子束,从而减少热负荷和光束失真。该枪能够以高达120 keV的光束能量运行,并以均匀一致的植入物分布运行。机器还包括精密的电脑化控制系统和强大的运动硬件,使用户能够监控植入过程的每个阶段。用户友好和直观的图形用户间阶段有助于导航过程导航和参数。植入器还能够实时监测植入剂量,并通过安全锁进一步提高操作员的安全性,防止未经授权进入植入器和机器区域。E1000提供了一种可靠且性能优异的离子植入器,可用于多个行业。该工具采用先进的工艺和工艺控制,设计精确度、可重复性和质量。
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