二手 VARIAN E1000172 / E1000173B #9163521 待售

VARIAN E1000172/ E1000173B离子植入器和监控器是一种先进的设备，设计用于将离子精确植入材料中，如半导体晶片。它能够有效地沿任何底物植入离子，以创建所需的掺杂剖面、物理特性和电磁值。E1000172/ E1000173B配有离子束源、能量分析设备和计算机控制单元。光束源被电磁场加速，然后通过屏蔽层传递到分析站。在那里，通过改变电场强度来识别和分离各种电荷质量比的离子。选择后，光束分成两个部分，一个用于植入，另一个用于监测植入离子的能量。然后控制计算机对光束强度进行调节，以确保离子剂量准确且可重复，而不会影响精度。监控器允许通过精确的同时测量电流离子束和植入材料来精确控制离子剂量。植入参数如电流、能量扩散、离子种类、入射角等都可以根据植入的材料和需要达到的所需特性进行调整。自动控制系统用于不断监控这些参数，并为过程优化做出任何必要的调整。VARIAN E1000172/ E1000173B还配备了离子植入物监测装置，以确保植入电荷率保持符合预定参数。机器设计用于检测任何危险辐射水平，必要时立即关闭光束。此外，还使用真空安全联锁工具防止颗粒损坏资产。总体而言，E1000172/ E1000173B是一项可靠的技术，用于广泛的离子植入应用。它旨在提供快速、高效和精确的离子植入。其先进的控制模型确保植入电荷与预定参数保持一致，以获得最佳效果。