二手 VARIAN E1000HP #187202 待售
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ID: 187202
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Implanter, 8"
Non-SMIF
Jar type
S6 Motor
Gas type: CGA Type:B+
SDS:AS+
SDS:P+,AR+
Beam line Turbo Pump Type: Leybold
Compressor Type: CT8600(2ea)
Utiliy Supply: Top
Faraday: PFG
Angle: Auto
Soucre Assembly type: Cusp source
Y2K Status Completion: Yes
Below pumps are not included:
1) Terminal Dry Pump
2) Chamber Dry Pump
3) Chamber Cryo Pump
Installed in clean room
Powered off
1994 Vintage.
VARIAN E1000HP是一种采用VARIAN独特离子植入技术的离子植入与监控设备.它用于各种工业和应用,因为它能够生产和控制高能离子,用于各种应用,例如半导体制造中的掺杂和掩模优化、金属表面改性和离子束分析。它是VARIAN系列离子植入器中的最新一款,在过去几十年中一直设计为提供可靠和高性能的植入系统。VARIAN E1000 HP系统是为广泛应用而设计的高电流、高能量植入器。它能够提供0.1至数十千库仑的剂量,光束电流为0.1至300纳米安培,光束能量为0.01至12 MeV。它具有优化的光束光学设计,使用户能够快速调整光束的能量分布,其先进的光束传输单元确保了高精度的植入。此外,E-1000 HP还设计了集成的环形离子收集器和检测器组件,以及先进的诊断平台,可帮助操作员确保设备的最佳性能。E1000 HP由于具有高度可靠和均匀的离子注入能力,因此在半导体工业中大量使用。它也适用于需要较低剂量和较低损伤植入的应用。它能够产生高度精确的掺杂深度,例如在典型的CMOS器件中进行有效的掺杂控制所需的那些深度。它还用于掩模优化,它有助于微调设备的关键尺寸,而不会在浅层深度造成明显的退化。E1000HP的设计着眼于工业环境中的性能。它有一个集成的自动化接口,使其能够与更高级别的计算机系统和数据收集设施相连接,使得在现有的半导体制造系统中容易实现。它还提供了广泛的安全功能,使客户能够享受其机器所需的保护级别。VARIAN E-1000 HP已被证明是一种高效可靠的植入工具,可用于各种应用,而且在未来许多年里,它肯定是制造设施的重要资产。
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