二手 VARIAN E11000090 #9067642 待售

VARIAN E11000090是一种离子植入器和监控器,专为精密半导体加工而设计.它使用可变能量的离子束，可以用不同的气体或蒸气源送入，然后引导到目标材料中。E11000090控制离子束的能量和通量，以确保能够实现最高质量的植入物。VARIAN E11000090由于其卓越的精确度和可重复性特性，其设计可实现更高水平的植入精度。它具有0.5nm的分辨率，非常适合在纳米加工应用中建立精确的植入物轮廓。它可以同时处理高能和低能离子，它的总光束电流高达30mA允许广泛的植入型材。该装置还具有可调节的电源，用于高度精确的离子束能量控制，以及安全操作的各种集成安全功能。E11000090采用独特的光束监控系统，能够实现高度精确的植入到监控操作。该系统测量目标处的实际光束电流，并有助于确保植入物轮廓保持在所需的参数之内。它还包括一个可变停留时间功能，使用户能够调整植入时间，以达到最佳效果。该单元具有一系列用于增加安全性的综合安全功能，包括一个浮动室闸门，以避免在原位离子植入期间气体泄漏和/或恒流监测仪实时测量光束电流。这些功能有助于确保植入以原始的一致性执行。VARIAN E11000090是一种先进的离子植入器和监控器，在设计时具有卓越的精度和可重复性。其可调电源的范围、集成的安全特性以及先进的光束监控系统，使其成为精密半导体处理应用的理想选择。