二手 VARIAN E11000090 #9110167 待售

VARIAN E11000090是一种高性能的离子植入器和监控器，它提供精确而强大的离子掺杂，适用于先进的半导体制造工艺。它是一种单端专用的植入器和监视器，可与多种离子配合使用。它专为高效率和速度而设计,可提供高达60kW的最大输出功率。E11000090配备了先进的功能,例如其液源帮助热线自动调整喷嘴中心点以优化源位置,以及其真空传输线能够将材料直接注入真空。它还具有背面植入功能，允许用户选择性地将不同的掺杂剂植入基质的不同区域。VARIAN E11000090还配备了一个背面离子光学监视器，它可以对植入物的进展进行现场监测。E11000090可以以高达10nm的分辨率输送高达10^15/cm2剂量的离子,并配有外部光束扫描系统,以超细控制光束的尺寸。它提供了强大的光束稳定功能，以确保准确控制植入物的剂量和位置。植入器的Beam Current Monitor功能还可以检测和识别掺杂过程中可能存在的任何大小的粒子。除了强大的离子植入能力外，VARIAN E11000090还提供了一系列工具来分析和监测植入过程。其自动对准系统自动调整喷嘴和基板的位置，以优化植入物轮廓的精度。它还具有一个离子通量计，测量和记录植入的离子被基质吸收的量。显示器的多通道离子通量检测器可以从不同角度检测多个离子通量通道，帮助用户确保其掺杂过程的最大均匀性和准确性。E11000090离子植入器和监测器是提供高质量结果的强大而可靠的工具。它提供了一些工具，可以帮助确保掺杂过程的准确性和精确度，让用户实现无与伦比的性能。