二手 VARIAN E11000090 #9400736 待售

ID: 9400736
Power supply.
VARIAN E11000090是由VARIAN Semiconductor Equipment开发的离子植入器和监控器。该设备用于生产集成电路和复合半导体。它旨在满足高容量、高速制造的需求,并为高性能微电子器件的生产提供精度和灵活性。E11000090具有高真空两级离子束加速器,能够传递具有亚微米级控制和可重复性的离子束。此外,系统还配备了广泛的诊断工具和高速数据采集单元,用于监测光束参数。该机还包括一个顶端的线束偏转器,它允许在三维空间中对离子束进行快速而精确的控制。该工具能够在毫秒范围内输送10至15 keV的剂量,剂量精度在6 x 10-4%以内。这使得植入不同类型的材料和基质的精确剂量递送。资产还配备了可调高速脉冲成形模型,提供快速响应时间、低离子束发散和精确光束控制。VARIAN E11000090还具有高度精确和可重复的光束点控制设备,可确保高分辨率成像和统一的设备特性。此外,该系统的设计旨在集成到广泛的制造环境中,提供了鲁棒性和灵活性。此外,该单元还具有先进的微处理器控制、数据记录和报告能力,提供了完整的可追踪性和机器控制。该工具还包括一个内置服务器,该服务器存储与进程相关的所有数据,并允许从任何地方进行远程访问。总体而言,E11000090是一种先进的、高性能的离子植入器和监测器,为生产高质量的电子设备提供精确的剂量输送和监控。这一资产结合了精密的仪器、强大的控制和卓越的精度,是生产先进微电子元件的理想选择。
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