二手 VARIAN E11001040 #9211648 待售

VARIAN E11001040是一种最先进的离子植入器和监控器，为半导体晶片的处理提供了卓越、高精度的离子束技术。它是市场上最先进的植入物之一，具有卓越的精确度和可靠性。为了支持其高性能操作,该设备包括几个尖端组件。高能光束线可确保植入所需离子的最佳光束能量传递。电动步进扫描系统允许精确的重复扫描优化transepts，以确保均匀植入。另外，植入的光束可以通过使用偏转器和缝隙进行定向。这使得该装置适用于半导体材料中的广域和局域植入物，如浅结点。此外,该设备还具有计算机控制的处理器,可优化剂量递送。控制器提供了一些可调参数来控制过程周期中的剂量。它也可用于在晶圆逐个晶圆的基础上评估工艺结果。此外,操作员还可以实时调整光束电流、能量和扫描速度等参数。这样可以快速优化工艺并提高产量。为了进行监控,E11001040包括市场上最先进的端点检测系统之一。该系统提供精确、可靠的端点检测，以确保整个周期的准确植入。此外，该装置还包括几种腔室诊断，如质谱、红外和可见光光谱以及光束风扇分析。这些诊断程序可对植入过程进行精确监控,并在需要时立即反馈以采取纠正措施。所有这些功能的结合确保了优质的植入物与最小的浪费和最大的效率。先进的计算机控制和诊断能够对植入过程进行精确控制，从而产生无缺陷的统一产品。此外,高质量的组件和可靠的设计提供了长期、无故障的性能,从长远来看可以节省时间和金钱。