二手 VARIAN E11001051 #293671683 待售

VARIAN E11001051是一种高端离子植入器和显示器，专为精密的植入和加工应用而设计。它配备了一个高容量的离子源，单班可处理高达350个晶圆每小时。它包含一个25千瓦的粒子束，能够植入离子；但是，晶圆尺寸限制在6英寸。监视器能够精确测量植入的离子并进行深入分析，从而实现更好的过程控制。E11001051具有专门设计用于安全运输和加工晶片而不会造成任何损坏的源-晶片处理设备。它还具有先进的光束转向系统，可以在大于晶圆表面积的区域上精确植入。此外，该装置还包括一个独特的超高分辨率光束监测器，用于实时监测离子注入参数。通过提供实时反馈和数据,可以实现更准确的植入。监视器还以易于解释的格式显示进程结果,该格式可用于比较来自不同处理运行的结果。此外,VARIAN E11001051还具有用户友好的界面,使操作员可以轻松地与植入器进行交互和控制。该接口还允许高效安装和操作植入器,从而减少操作员的停机时间和头痛。而且，它带有自动层识别，允许在同一晶圆的多个不同层上进行相同的植入。最后，该机包括过温和电压控制等内置安全特性，以及紧急关闭。这样可以确保植入器以安全可靠的方式运行。总体而言，E11001051是任何需要精确和一致离子植入的应用的理想选择。