二手 VARIAN E11001062 #293671682 待售

VARIAN E11001062是一种离子植入器和监测器，通常用于将掺杂剂沉积到半导体基板中。该设备具有先进的高纯度杂质监测和控制功能,专为满足半导体行业最苛刻的要求而设计。E11001062是一种单端水平离子植入器，允许在单个过程中同时进行掺杂和分析。它带有1.5 MV的加速电压，使用单端全能量光束。植入器还具有可调的排水、扫掠和倾斜角度，允许无限的灵活性和根据用户需求的无缝调节。VARIAN E 11001062的高级监视功能旨在提供杂质浓度的精确实时测量。信息屏幕显示监控系统性能所需的数据的简明摘要，为诊断和调整兴奋剂配置文件提供了方便的方法。生产环境可以通过E11001062实现完全自动化。它的腔室允许对电荷、倾斜角和轮廓参数进行远程控制。自动化还减少了设置和调整所需的时间，其先进的计算机控制能力提高了剂量配置文件的可靠性和准确性。VARIAN E11001062还具有多种安全功能。植入器在接近零背景污染的情况下运行，并提供环境和温度控制环境，以确保恒定的高质量沉积。植入器还符合ISO 9001标准，并具有先进的安全系统来保护用户数据和机密信息。它还带有内置的安全关闭功能,以确保在所有条件下的可靠运行。总之，E11001062是一个先进的离子植入器和监控系统设计的精度，可靠性，和生产力。凭借其可调节的排水、扫掠和倾斜角等强大功能、先进的监控能力、自动化和安全功能，该设备被设计为满足半导体行业对掺杂的最严格要求。