二手 VARIAN E11004390 #148167 待售

VARIAN E11004390是一种离子植入器和监控器，旨在提供高效、可靠和经济高效的材料植入和监测。这种装置用于半导体工业，目的是在硅片等基板上创建精确放置的图样和结构。离子注入是一个过程，离子在高能级生成，并加速向底物。当离子与底物的原子碰撞时，它们被嵌入到材料中。此过程允许创建小特征,这些小特征可用于形成晶体管和电阻器等设备。E11004390能够植入各种离子，包括硼、氙、砷、磷和的。该装置包括软件控制的离子源、加速柱、束映射设备。离子源产生高能离子，加速柱将离子加速到所需的水平。光束映射系统确保离子正确对准基板的正确区域。VARIAN E11004390配备了一个高级控制单元，可实时监控所有过程变量，包括温度、压力和加速度。这允许对离子植入过程进行精确控制。E11004390还包括一台数据记录机，它可以存储最多六个不同基板上的信息。此信息可用于访问设备性能并跟踪一段时间内的流程趋势。该设备的设计还包括一系列其他功能，这些功能提高了基材产量，并已成为行业标准。这些包括一个离子隔离工具，以防止不需要的离子进入光束和一个完全密封的外壳，以保护组件免受灰尘和颗粒。总体而言，VARIAN E11004390是一种先进、可靠的离子植入器和监控器，专门设计用于提供卓越的材料植入和监控。该设备为半导体行业提供高效、经济高效的解决方桉,其多种功能确保其用户能够获得最优质的材料和技术。