二手 VARIAN E11034134 #9230309 待售

VARIAN E11034134是一种离子植入器和监测器,用于将离子输送到基材中.这台机器是由几个组件组成的，这些组件共同创造了一个完整的设备。这些组件包括离子源、离子束线、一次和二次加速系统、能量和束电流控制器、束光学器件、束传输系统、诊断和测量设备以及端站。离子源用于产生和运输离子束。它由离子束发生器、离子导管和提取系统组成。离子束发生器通过轰击充满气体的外壳（如离子沉积室）或具有高能电子的固体目标材料来产生离子束。这种对电子的轰击产生的离子被提取并聚焦成一束.离子束线用于收集和传输离子束。它包括一组控制和引导光束的磁体，以及监测光束特性的光束诊断系统。然后使用初级和次级加速系统使光束达到所需的电压和能量。能量和束电流控制器也用于维持离子束的能量和电流水平。之后，利用光束光学元件来控制离子束在基材上的形状、大小和位置。这是通过调整焦点和散焦方法来实现的。设置光束形状和大小后,光束传输系统将光束从离子源移动到端站。光束传输系统包括各种离子光学元件，以及不允许离子束从单元中逸出的真空系统。然后使用诊断和测量设备来测量光束的特性，包括其电压、电流、能量和位置。最后，端站是光束聚焦在基材上的地方，允许进行限制和操纵。总体而言,E11034134离子植入器和监控器是离子植入的完整包装.它能够产生和输送任何给定基材所需能量、电流和电压的离子束。该工具还配备了各种诊断和监控组件，可以对植入过程进行精确控制和优化。这一资产在整个行业和学术研究中得到广泛应用。