二手 VARIAN E11077380 #9216111 待售
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已售出
ID: 9216111
Tilter head assy for E500.
VARIAN E11077380是由VARIAN Semiconductor Equipment设计制造的电子离子植入器和显示器设备。该系统利用具有集成电子制动和质量分析单元的反作用室,实现对弹丸强度和能量分布的精确控制。E11077380离子植入器设计用于离子植入,这是半导体器件制造制造表面掺杂层和相关结构的一种工艺。在这个过程中,VARIAN E11077380机器允许精确和精确地控制材料表面轰击的光束强度和能量分布,从而可以创建高度精确和技术先进的电路。E11077380工具配有集成电子设备,旨在确保精确控制光束能量扩散、强度和光斑大小,使材料在不同辐射和基板参数下的轰击具有独特的均匀性。资产的集成EPS(能源电源)可提供100 eV至30 kV的可调能量范围。这为植入和蚀刻应用提供了高效的控制级别。VARIAN E11077380还配备了集成光束监测模型,用于监测撞击离子束的整体轮廓。这一设备定期提供关于轰炸概况统一的反馈,以便进行定期和自动化的校准任务。此外,监视器允许用户验证整个轰炸过程的强度、能量扩散和均匀性。E11077380是一个模块化系统,允许在材料的植入和蚀刻方面具有高度的灵活性和多功能性。该单元有三种针对特定工艺和应用量身定制的配置,包括适用于深硅掺杂的高能版本、适用于中深掺杂的中能版本和设计用于表面蚀刻的低能版本。该机还配备了60kW快速高压脉动高压开关快速高效。总体而言,VARIAN E11077380是针对半导体工业中的精密植入和蚀刻应用而优化的尖端离子植入器和监控工具。其集成的电子和控制特性,加上高效的能量和高压脉冲,为高效、可重现的材料和电路植入提供了精确准确的操作。
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