二手 VARIAN E11081190 #9107061 待售

VARIAN E11081190是一种离子植入器和监控器，用于半导体制造过程。它作为一种分析工具，提供精确和可重复剂量的掺杂离子，用于制造电子设备中使用的组件。E11081190配有一个离子源，可以准确控制和输送各种电流装置所需的掺杂离子。内部源由加热的钨丝、提取系统和静态离子组成，以最大限度地提高电离效率。离子束通过多光圈系统加速至高达100 keV的能量，以保持高电流密度，同时减少任何光束扩散。离子束电流密度通过法拉第杯监测，法拉第杯能够测量高达1mA的电流。电流响应和漂移校正自动调整离子植入器的束能量和电流，以保持离子的预定剂量，同时调整束包络。VARIAN E11081190具有自动对准功能，使其能够以聚焦方式精确对准和扫描离子束，提高植入的准确性。此功能对于在复杂电子元件的制造中实现高精度至关重要。E11081190还有一个用于用户控制和数据存储的集成计算机系统。它允许从任何位置对植入器参数（如停留时间和光束间距）进行强制监控和调整。其强大的软件还使用户能够查看、分析和修改工艺配方、管理或固化响应曲线和快速光束调整。这保证了离子的正确剂量被精确输送。VARIAN E11081190能够在纳秒级确定中提供可重复、精确和可靠的结果,从而减少停机时间并实现有效、高度准确的植入过程。它还确保设备和组件的高质量和完整性得到维护,从而保证其在最终产品中的性能和特性。