二手 VARIAN E11107177 #9265198 待售

VARIAN E11107177离子植入器和监控器是为主要半导体和硅片生产而设计的一种先进的离子植入器模型。它通常用于制造集成电路、晶圆级封装和其他微电子元件。E11107177是一个高通量，直流偏置，防洪枪植入器设备，中高束电流范围从0.2uA到400mA。它能够在1 keV至50 keV的低能量下运行，并具有一个集成的法拉第杯，用于测量源的剂量和剂量率。VARIAN E11107177的离子源由电子束发生器、电子束杯和集电极组件组成。E-Beam杯装有两个同轴射频场，可以动态操纵离子束能量和轨迹。这是有益的,因为它允许调整工艺参数以针对基板表面的特定组件。E11107177具有双断头台缝隙组件和独特设计的提取器系统,可快速启动和终止离子束扫描,显着缩短植入时间。此外，该单元最多可安装四个光束控制器，允许同时运行多达四个进程。VARIAN E11107177植入器集成了多个安全功能。它配备了各种传感器以监测温度和压力，以及一个气体输送单元以确保机器的安全运行。E11107177离子植入器和监控器是一种全面、通用的工具，可以满足半导体行业的严格要求。利用惯性控制光束扫描、光束能量动态操纵和安全特性，已成为广泛应用于各种离子植入应用的解决方桉。