二手 VARIAN E11114360 #144136 待售

VARIAN E11114360是一种高性能的离子植入器和显示器，旨在提高工艺可靠性和产量。它是一种通用通用设备，适合各种先进应用，非常适合日常生产运行。E11114360具有完全集成的光束线系统,具有可调的能量和电流设置,可实现精确的植入。该装置配有精密的源污染控制和污染防护系统，使机器免受危险颗粒和气体的伤害。它增加了高精度气密晶圆传输工具，进一步提高了工艺可靠性和吞吐量。光束线资产采用高性能、数字化扫描模型和强大的光束轮廓监控技术，导航光束线并快速修改植入条件。这种先进的扫描设备可以让操作员获得过程的实时反馈，提高准确性、效率和产量。VARIAN E11114360还采用了数字光束形状优化技术，允许用户调整光束形状，根据特定要求量身定制植入。这一创新确保了植入的颗粒均匀分布在晶圆上，提高了工艺精度和产量。该系统采用基于Windows的现代控制界面进行控制，便于E11114360操作。此界面具有直观的功能和控制,允许操作员快速调整设置并监控植入过程。此外,该部门的高级智能、控制和诊断功能提供了广泛的编程灵活性,使操作员能够访问大量数据并分析过程。VARIAN E11114360是一个令人印象深刻的离子植入和监测机器，结合了先进的技术，精度，效率和可靠性提高产量。其全面的设计使其成为各种高精度植入应用的理想工具。