二手 VARIAN E11114360 #293670842 待售

VARIAN E11114360是一种高性能的离子植入器和监控设备。是半导体工业中用于离子注入基板的离子植入器技术的一种。该工艺用于制造半导体器件的精确模式。该系统是一个高真空平台，设计用于高精度维持真空。它有一个自动化的控制单元，使准确和一致的植入条件。与手动植入相比,该机器提供了更高的准确性和可重复性,同时还允许在一次运行中使用多种材料和配置。E11114360有一个多功能监控工具，设计用于内部阴极光束性能监测。这包括一个柔性束线架构，能够处理多路复用或单个粒子，测量量不超过4微米。具有脉冲至脉冲光束驱动，可实现均匀植入深度。该资产具有高精度的延迟场能量分析仪.它允许通过精确的减速和测量对非脉冲离子进行精确的能量分离。它还有一个位置敏感的自动点和痕迹植入过程检测器。该模型配备了一个原位离子电流监测器，允许监测目标基板上的离子轰击。这有助于确保精确的植入控制和均匀性。它还提供了比传统植入方法更高的可靠性和准确性。VARIAN E11114360还具有单独的晶圆传输设备。这种装置可以自动装载和卸载基板,同时保持真空的完整性.这消除了人工干预的需要，提高了流程的效率和成本效益。设备还配备了接收来自其他设备的外部输入，例如能够接受来自中央计算机的自动命令、诊断例程和信息。这有助于确保更高的精确度和对植入过程的控制。总体而言，E11114360是一个功能强大且精确的离子植入器/显示器系统，设计用于半导体器件制造行业。其特点包括高精度真空控制、植入参数自动控制、柔性束线架构、延迟场能量分析仪、位置敏感检测器、原位离子电流监测器。适用于各种生产设置，确保植入过程中更高的可靠性和准确性。